Vakuuminiu siurbliu vadinamas įrenginys vakuumui sukurti, palaikyti ir padidinti.
Naudojama daug rūšių įvairiais fizikiniais ir cheminiais principais veikiančių siurblių. Vakuuminiai siurbliai gali skirtis tiek savo veikimo fizikiniais pagrindais, tiek ir slėgių intervalu, kuriame jie efektyviai veikia. Tarptautinis standartas ISO 3529/2 klasifikuoja vakuuminius siurblius pagal jų veikimo principą.
Pagal veikimo principą siurblius skirstysime į dvi grupes :
Pirmieji – patenkančias į juos vakuumuojamo objekto dujas perkelia jas suslėgdami kito siurblio link arba galiausiai išmeta jas į atmosferą. Dujas sulaikantieji siurbliai dujų nepašalina – jie jas sulaiko panaudodami tam įvairius fizikinius principus, pavyzdžiui, jas sušaldydami savo paviršiuje iki kieto būvio, chemiškai surišdami dujas su specialiai tam skirtomis medžiagomis, absorbuodami ir t.t.
Dujas pernešantieji siurbliai savo ruožtu pagal savo veikimo principą skirstomi į dvi grupes:
Tūrinio veikimo siurblių tūris per įėjimo angą užpildomas šalinamomis dujomis.
Periodiškai izoliavus nuo įėjimo angos šios dujos daugelyje siurblių suspaudžiamos ir pernešamos išėjimo angos link, per kurią pašalinamos.
Kinetiniuose vakuuminiuose siurbliuose dujoms ar jų molekulėms kryptingo judėjimo
greitis suteikiamas tokiais būdais, kad jos nenutrūkstamai juda nuo įėjimo angos išėjimo link.
Išskiriamos trys tokių siurblių grupės: